ウエハチップ外観検査装置 (ダイシング後) 資料

検査精度に合わせた画像分解能が選択可能

本装置は、ウェハダイシング後のチップを外観検査する装置です。
検査精度に合わせた画像分解能が選択可能です。(約0.8μm~2.0μm/pixel)
ミクロ検査(0.2um~2.0um 分解能)

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